자사의 F80 두께 이미징 제품은 산화물, STI 그리고 금속 CMP 공정에 사용됩니다. 유전체 식각율, 잔여 유전체 두께와 균일성, 침식, STI에 잔여 산화물이 일반적인 응용입니다. CMP 소모품 공급 업체들은 CMP 슬러리와 패드개발 시간을 단축시키며 CMP 공정의 특성분석을 하기 위해F80-t 탁상형 시스템을 사용합니다. 있습니다.

자사의 F40과 F42 시스템 또한 CMP공정 개발, 유전체 필름 두께와 침식측정에도 사용되고 있습니다.

고객님의 반도체 CMP 측정에 관하여자사의 박막(Thin Film) 전문가에게 문의하시기 바랍니다.

Filmetrics가 제공하는 무료 샘플측정 - 결과는 보통 1-2일정도 소요됩니다.