S 저희 Filmestrics의 제품을 사용하시면 아무 어려움없이 아주 간편하고 성공적으로 Photoresist를 측정하실수 있습니다. 저희 제품을 사용하시면 resist를 측정 광원에 노출시킬 필요가 없고, photoresist의 광범위한 영역을 기록하고 있는 반사지수 라이브러리도 필요없으며, 노출되는 각도에 따라 변하는 photoresist의 반사지수를 다룰수있는 기술도 필요하지 않습니다.

SU - 8 및 기타 photoresists 두께의 측정은 스핀 코팅 때문에 특별히 신경쓰어야 할 작업입니다. 스핀 코팅은 쉽고 빠르지만 정밀한 두께를 원할때는 두께의 정확성이 다소 떨어지기 때문니다. 측정에 걸리는 시간은 resist의 두께에 비례하기 때문에, 정확한 측정이 수행되어야 합니다. 또한, 양성과 음성의 photoresists를 함께 사용하면 다겹의 MEMS를 만들수도 있으므로 각 겹의 두께를 정밀히 측정해야 합니다.

Filmetrics는 3nm와 1nm 사이의 홀겹이거나 겹겹으로 구성된 필름, 그리고 photoresist의 두께를 잴수있는 여러종류의 탁상용 제품와 매핑용 제품을 취급하고 있습니다. Filmetrics의 제품들은 반사지수를 모델로 사용하여 정확한 두꼐를 측정합니다. 또한 측정시 전매 알고리듬으로 1초내로 빠르게 결과를 알려드립니다.