프로필러미터와 분광반사의 차이점

프로필러미터는 박막두게 측정기술을 이해하기쉽게 만든 기술입니다. 프로필러미터 기술은 바늘이 박막위로 지나갈때의 높이를 관찰하는 방법으로 두께를 측정합니다. 이 기술의 장점은 모든 고체 형태의 박막이라면 평편한지 않은 박망의 두께도 측정 할수있다는 것입니다. 고급형의 프로필러미터 기술은 박막 표면의 윤곽도 측정해줍니다.

하지만 프로필러미터에는 단점이 있습니다. 프로필러미터를 사용할시에는 박막 샘플을 스텝위에 올려 놓아야합니다. (그림을 참조하십시요) 샘플측정에서 나오는 에러와 구경측정 에러 그리고 기계에러까지 합쳐지면 커다란 에러범위 (5~10%)가 생기게 됩니다.

반대로 분광반사 기술은 박막와의 접촉도없고 사용시샘플링도 필요로 하지 않는 기술입니다. 분광반사 기술은 빛이 박막을 접촉하고 반사됨을 분석하기 때문에 샘플을 따로 준비히실 필요가 없습니다. 반사된 빛은 1초안에 분석되 박박두꼐와 반사지수를 측정됩니다. 여러 레이어로 구성된 박막의 두께와 반사지수도 분광반사기술로 측정하실수 있습니다.

박막측정 기술의 장점이 밑에 나열되어 있습니다. 분광반사 기술에대한 더 자세한 정보가 필요하시면 클릭하세요. 여기를 클릭하세요.