프로필러미터와 분광반사의 차이점

필름측정을 위한 프로필러메트리 분광 반사율

프로필러미터는 박막두게 측정기술을 이해하기 쉽게 만든 기술입니다. 프로필러미터 기술은 바늘이 박막위로 지나갈 때의 높이를 관찰하는 방법으로 두께를 측정합니다. 이 기술의 장점은 모든 고체 형태의 박막이라면 평편한지 않은 박막의 두께도 측정 할 수 있다는 것입니다. 고가의 프로필러미터 기술은 박막 표면의 조도를 측정합니다. (저가의 광학 profilometer의 자세한 정보는 여기를 click 하시기 바랍니다).

분광 반사율 가이드 요청

그러나 프로필러미터에는 단점이 있습니다. 프로필러미터를 사용할시에는 박막 샘플을 스텝위에 올려 놓아야 합니다. (그림을 참조 하세요) 샘플측정에서 나오는 에러와 구경측정 에러 그리고 기계에러까지 합쳐지면 커다란 에러범위 (5~10%)가 생기게 됩니다.

반대로 분광반사 기술은 박막에 접촉이 없고 사용시 샘플링도 필요로 하지 않는 기술입니다. 분광반사율 기술은 빛이 박막을 접촉하고 반사된 빛을 분석하기 때문에 샘플을 따로 준비하실 필요가 없습니다. 반사된 빛은 1초안에 분석되어 박막두께와 굴절률이 측정됩니다. 여러 층으로 구성된 박막의 두께와 굴절률도 분광반사율 기술로 측정 할 수 있습니다.

박막측정 기술의 장점은 아래에 나열되어 있습니다. 분광반사율 기술에 관한 자세한 정보가 필요하시면 클릭하세요.

분광 반사율 프로필러메트리
두께 측정 영역:
1nm - 3mm (비-금속들)
0.5nm - 50nm (금속들)*
2nm - 0.5mm (단단한 재료)
다층 측정하기 : 아니요
굴절률 측정하기: 아니요
반복성 (500nm SiO2): 0.1nm 0.5nm
측정 속도: ~0.1 - 5 초 ~5 - 30 초
샘플 준비 필요: 아니요
이동되는 파트: 아니요
기본 시스템 단가: ~$13K ~$50K
*필름 스텍의 의존성