박막(Thin-Film) 두께 측정 장비

자사의 박막두께 측정장비 전체 라인은 Windows XP나 Vista에 연결이 가능하며 모든 옵션 부품도 필요에 따라 같이 제공하고 있습니다.

F20	전세계적으로 가장 많이 팔리며 광범위한 부품과 광범위한 두께측정이 가능합니다.

F10-AR	광학 렌즈 및 기타 곡선 표면의 반사율 측정. 하드코팅 두께와 투과율을 측정하기 위한 옵션이 있습니다.
F10-HC	하드코팅 및 안티-포그(anti-fog)층 두께 및 광학상수. 폴리카보네이트 (Polycarbonate)에 하드코팅을 하는 자동차 산업과 기타 산업에 많이 사용됩니다.
F10-PA	핸즈프리 파릴렌 (Parylene) 두께 측정 제공.
F10-RT	측정 반사율과 투과율을 동시에 측정하며 두께와 광학상수 측정을 위한 옵션이 있습니다. 진공 증착분야에 많이 사용됩니다.

F30	MOCVD, 스퍼터링 또는 기타 증착공정 중에 반사율, 두께 및 증착(Deposition) 속도를 모니터 합니다.
F37	인라인 박막 측정기기, 최대 7 개의 위치를 동시에 측정가능 합니다.

F40	현미경에 부착하여 최소2.5µm의 크기의 미소영역에서 두께와 광학상수를 측정가능 합니다.
F42	완벽한 2-D 두께 마이크로 매핑 시스템

F50	F20 시리즈 제품에 자동 매핑 기능을 추가하여. 한 지점에서 0.5초 이내에 두께 및 광학상수의 매핑을 할 수 있습니다.
F50-XY-450	직경이 300mm보다 큰 샘플을 매핑 할 때 사용됩니다.
F60-t	양산용 탁상형 매핑 시스템에는 장착된 레퍼런스, 노치(notch) 찾기의 기능과, 인터락이 갖추어진 덮개 등이 있습니다.

F80-t	양산용 탁상형패턴 웨이퍼 매핑 시스템은21초 동안에15 지점을 매핑 할 수 있습니다.
F80-c	F80-t는 Cassette-to-cassette 버전입니다. 300mm 웨이퍼까지 지원합니다.
F80-a	통합 웨이퍼 전송 도구를 사용하여 자동 웨이퍼 매핑. 300mm 웨이퍼까지 지원합니다.

교체 램프 – 광원에 따라 교체 램프가 준비 되어있습니다.

두께의 표준 – 전체 Filmetrics는 두께의 표준 인증을 받은 제품입니다.

참고 자료 – BK7 교체 및 실리카 참고 자료.

일반 부품 – 운송 케이스 등 일반 액세서리

스테이지와 스테이지 부품 – 표준형 및 주문형 스테이지

접촉 프로브 – 곡선과 복잡한 표면 측정

광섬유 – 자외선, VIS, 그리고 NIR 대체 섬유.

렌즈 어셈블리 – 다양한 렌즈 조립이 귀하의 응용에 맞게 마련되어 있습니다.

F50 와 F60-t를 위한 (Chuck) – 다용한 크기의 웨이퍼에 맞는 척 (Chuck)이 마련되어 있습니다.

소프트웨어 업그레이드 – 전문 응용분야를 위한 소프트웨어가 마련되어 있습니다.

현미경 어댑터(adaptors) – F40 시리즈 어댑터.

광학 필터 – 평면 스펙트럼 반응.