저렴한 양산 웨이퍼 측정기기

프로세스 엔지니어는 신속하고 번거로움 없는 필름 두께 측정을 원합니다. 자사의 혁신적인 두께 Imaging™ 기술의 Filmetrics는 쉬운 레시피 (Recipe)설정, 업계 최고의 처리량 및 비용 측면에서 다른 측정 도구에 비하여 매우 저렴한 비용으로 측정 할 수 있습니다.

어느 한 지점에서 두께를 측정하는 종래의 측정 도구와는 달리, F80은 측정 위치 주변에 수천 개의 두께를 신속하게 판독하고 수집하여 두께 분포를 생성합니다.

이것은 획기적인 혁신 결과로.

• 초속 측정 - 최대 15 지점을 21초 만에
• 뛰어난 편의성
• 보다 강력한 자동화
• 경쟁사들보다 저렴한 가격

적은 비용으로 구성이 가능한 수동 탁상형시스템 부터 BOLTS 통합 측정기기까지 자동화된 Cassette-to-Cassette시스템

만약 다음 세대 두께 측정기기를 찾고 계시다면 더 이상 찾으실 필요가 없습니다. F80는 여러분이 기다려 오신 CMP, CVD, PVD 그리고 웨이퍼 트랙킹 장비입니다.

Thickness Imaging™은 Filmetrics Inc.의 등록상표입니다.

Filmetrics R&D 는 100대 두께 이미징 기술을 수상 했습니다.