세계 최초 저가의 3D Profiler: Profilm3D

저렴한 광학 Profilometry

드디어, 표면조도 및 topography 측정은 기존 stylus profilometer보다 저렴한 장비로 제공 가능합니다.

서브-나노미터의 수직 resolution 을 갖는 Profilm3D는 3배 비용의 고가 장비들을 능가합니다.

가장 정밀한 광학 Profiler로서 동일한 최신 기술들이 적용됩니다 : vertical-scanning interferometry (VSI) 및 phase-shifting interferometry (PSI).

측정능력

Profilm3D는 표면조도, 표면형상, Step height을 측정할 수 있는 직관적인 소프트웨어를 포함하며 평편하고, 경사진 표면의 조도 패러미터들을 측정할 수 있습니다. 강력한 스티칭 (stitching)기능은 저가의 소프트웨어 업그레이드로 다중의 스캔형상을 병합합니다.

다른 옵션은 표준사양입니다

당연히 필요한 옵션에 왜 추가 비용지불을 하십니까? 자동화된 XY 스테이지는 tip/tilt 스테이지처럼 모든Profilm3D의 표준사양으로 제공됩니다.

Step-Height 표준 설정

Profilm3D는 0.5% 이하 정밀한 10-µm step-height 표준 및 100 nm, 2 µm, 4 µm단차의 multi-step 표준이 제공됩니다.

광역Field-of-View

Profilm3D의 디지털 줌 기능 (광역 field-of-view - 2 mm (10x 대물렌즈))은 여러 응용분야에 필요한 다중 대물렌즈 사용을 감소시켜주며, 전반적으로 비용절감 효과를 가져옵니다. 다중 대물렌즈의 사용이 유연하게 필요한 응용분야를 위하여, 당사의 포지션 센싱기능이 내장된 4개 포지션 수동 turret 은 우수한 표준사양입니다.

장비성능 사양

두께영역, VSI 50 nm - 10 mm
두께영역, PSI 0 - 3 μm
샘플 반사영역 0.05% - 100%

장비기기 사양

Z 영역 100 mm
Piezo 영역 500 μm
XY스테이지 유형 수동 또는 자동
XY스테이지 영역 100 mm x 100 mm
카메라 2592 x 1944 (5 Megapixels)
장비규격, W x D x H 300 mm x 300 mm x 550 mm
장비중량 15 kg

대물렌즈 1 (니콘 CF IC Epi Plan)

배율 5X 10X 20X 50X 100X
Field-of-View 4.0 x 3.4 mm 2.0 x 1.7 mm 1.0 x 0.85 mm 0.4 x 0.34 mm 0.2 x 0.17 mm
Spatial Sampling2 1.76 μm 0.88 μm 0.44 μm 0.176 μm 0.088 μm
1 별도판매
2 샘플 Pixel size

일반적인 옵션의 부품들: