프로덕션 환경에 대한 자동 매핑
Filmetrics의 F60-t 시리즈 제품들은 필름의 두께 및 광학상수를 매핑 하지만 또한 생산 환경을 고려한 특정한 기능들을 여러 개 포함하고 있습니다. 자동 노치(notch)찾기, 자동 온보드 기본값, 동봉된 연동 모션 측정 스테이지와 같은 것들은 사전에 컴퓨터에 설치되어 있으며. 전 자동 웨이퍼 핸들링으로 업그레이드 하실 수 있습니다.
각기 다른 F60 장비들은 일차적으로 사정 주파수에 의해 정의됩니다. 일반적으로 짧은 파장은(e.g. F60-t-UV) 얇은 박막에서 사용되며 더 긴 파장은 두꺼운, 거친, 더욱 불투명한 필름의 측정에서 사용됩니다.
| F60-t |
20nm-50µm |
380-1050nm |
| F60-t-UV |
10nm-50µm |
200-1100nm |
| F60-t-NIR |
100nm-250µm |
950-1700nm |
| F60-t-EXR |
20nm-250µm |
380-1700nm |
| F60-t-UVX |
10nm-250µm |
200-1700nm |
| F60-t-XT |
10µm-1mm |
1590-1650nm |
*자세한 F60 데이터 시트 보기
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각 F60-T 모델은 측정에 필요한 모든 것을 포함
일반 옵션 액세서리
또한, 각 F60-T는 이러한 Filmetrics의 장점을 포함하고 있습니다:
- 모든 시스템에 포함되어있는 130 개의 라이브러리 자료
- 무료 소프트웨어 업데이트
- 기술지원 엔지니어의 즉각적인 도움을 제공 (월요일부터 금요일까지 24 시간)
- 온라인 "실제" 지원 (인터넷 연결이 필요합니다)
- 하드웨어 업그레이드 프로그램
